Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DC magnetron sputtering을 이용하여 산소분압별로 증착된 InZnO 기반의 박막 트랜지스터의 특성

  • 이시 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 문연건 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 문대용 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 김웅선 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 강병우 (한양대학교 신소재공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 신소재공학과)
  • Published : 2009.02.11
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