이온, 래디컬 손상을 최소화하는 Pulse Inductively Coupled Plasma를 이용한 3차원 집적 Through Silicon Vias구조 형성

  • 이승환 (성균관대학교 나노과학기술원) ;
  • 임영대 (성균관대학교 나노과학기술원) ;
  • 유원종 (성균관대학교 나노과학기술원)
  • 발행 : 2009.02.11