High energy-electron-beam induced modification of Aluminum and Titanium films on SiOx

  • 이경재 (포스텍 물리학과) ;
  • 임규욱 (포항가속기연구소) ;
  • 강태희 (포항가속기연구소) ;
  • 정석민 (포스텍 물리학과) ;
  • 최용운 (한국원자력연구소 양자광학연구실) ;
  • 한영환 (한국원자력연구소 양자광학연구실) ;
  • 양기호 (한국원자력연구소 양자광학연구실) ;
  • 이병철 (한국원자력연구소 양자광학연구실)
  • Published : 2009.02.11