한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제36회 동계학술대회 초록집
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- Pages.203.1-203.1
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- 2009
$SiO_x$ 박막의 특성 향상을 위한 대향 타겟식 스퍼터링 공정의 최적화
- 왕태현 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
- 류성원 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
- 박용진 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
- 이재환 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
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홍재석
((주)CTC) ;
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손선영
(대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
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김화민
(대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학)
- Wang, Tae-Hyeon ;
- Ryu, Seong-Won ;
- Park, Yong-Jin ;
- Lee, Jae-Hwan ;
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Hong, Jae-Seok
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Son, Seon-Yeong
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Kim, Hwa-Min
- 발행 : 2009.02.11