$SiO_x$ 박막의 특성 향상을 위한 대향 타겟식 스퍼터링 공정의 최적화

• Wang, Tae-Hyeon ;
• Ryu, Seong-Won ;
• Park, Yong-Jin ;
• Lee, Jae-Hwan ;
• Hong, Jae-Seok ;
• Son, Seon-Yeong ;
• Kim, Hwa-Min

• 왕태현 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
• 류성원 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
• 박용진 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
• 이재환 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
• 홍재석 ((주)CTC) ;
• 손선영 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학) ;
• 김화민 (대구가톨릭대학교 전자디스플레이공학)

• Published : 2009.02.11

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