액상 Cu(II) 전구체의 개발 및 증착 특성 연구

  • 서경천 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 강상우 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 윤주영 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 나정길 (한국표준과학연구원 진공기술연구랩) ;
  • 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
  • 최재붕 (성균관대학교 기계공학과) ;
  • 김태성 (성균관대학교 기계공학과) ;
  • 양일두 ((주)큐리프) ;
  • 심재용 ((주)큐리프)
  • Published : 2009.02.11