Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
- /
- Pages.186-186
- /
- 2009
Plasma를 이용한 세정액의 활성화와 시료 표면의 탄성계수 및 강도 변화에 대한 연구
-
Kim, Su-In
;
- Kim, Hyeon-U ;
- No, Seong-Cheol ;
- Yun, Deok-Jin ;
-
Jang, Hong-Jun
;
- Lee, Jong-Rim ;
-
Lee, Chang-U
-
김수인
(국민대학교 나노전자물리학과) ;
- 김현우 (한국과학영재학교) ;
- 노성철 (한국과학영재학교) ;
- 윤덕진 (한국과학영재학교) ;
-
장홍준
(한국과학영재학교) ;
- 이종림 (한국과학영재학교) ;
-
이창우
(국민대학교 나노전자물리학과)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords