Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
- /
- Pages.183.2-183.2
- /
- 2009
Sidewall 산화막을 이용한 고밀도 트렌치게이트 power MOSFET 제작
-
Kim, Sang-Gi
;
- Kim, Yong-Gu ;
-
Park, Geon-Sik
;
-
Gu, Jin-Geun
;
-
Yu, Seong-Uk
;
- Kim, Bo-U ;
-
Park, Seong-Ho
;
-
Gang, Jin-Yeong
-
김상기
(한국전자통신연구원) ;
- 김용구 (한국전자통신연구원) ;
-
박건식
(한국전자통신연구원) ;
-
구진근
(한국전자통신연구원) ;
-
유성욱
(한국전자통신연구원) ;
- 김보우 (한국전자통신연구원) ;
-
박성호
((주)가인테크) ;
-
강진영
(한국전자통신연구원)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords