Effect of thickness and $O_2$ flow rate on the properties of ITO thin films deposited by RF magnetron sputtering for RGB LED applications

• 최은실 (광주과학기술원 광과학기술학제학부) ;
• 권재현 (광주과학기술원 정보기전공학부) ;
• 이용탁 (광주과학기술원 광과학기술학제학부) ;
• 유재수 (경희대학교 전자전파공학)

• Choe, Eun-Sil ;
• Gwon, Jae-Hyeon ;
• Lee, Yong-Tak ;
• Yu, Jae-Su

• 발행 : 2009.02.11

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