Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.143-143
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- 2009
RF magnetron sputtering 법으로 제조한 ZnO 박막의 RF 파워에 따른 특성
- Kim, Jong-Uk ;
- Kim, Min-Seok ;
- Lee, In-Hwan ;
- Kim, Deok-Gyu ;
- Kim, Hong-Bae ;
- Hwang, Chang-Su ;
- Park, Yong-Heon
- 김종욱 (청주대학교 전자공학과) ;
- 김민석 (청주대학교 전자공학과) ;
- 이인환 (청주대학교 전자공학과) ;
- 김덕규 (청주대학교 전자정보공학부) ;
- 김홍배 (청주대학교 전자정보공학부) ;
- 황창수 (공군사관학교 물리학과) ;
- 박용헌 (공군사관학교 물리학과)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords