전자빔 리소그래피를 이용한 광결정 패턴 제작에 관한 연구

• 장동기 (한국과학기술연구원) ;
• 권순홍 (한국과학기술연구원) ;
• 이정일 (한국과학기술연구원) ;
• 김경찬 (한국과학기술연구원) ;
• 장수경 (연세대학교) ;
• 한일기 (한국과학기술연구원)

• Jang, Dong-Gi ;
• Gwon, Sun-Hong ;
• Lee, Jeong-Il ;
• Kim, Gyeong-Chan ;
• Jang, Su-Gyeong ;
• Han, Il-Gi

• 발행 : 2009.02.11

• PDF