Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.97.1-97.1
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- 2009
Formation of nanocrystal Ge in the nano-scaled hemisphere of Ge-nitride by implanting $N_2^+$ gas
- Jeong, Min-Cheol ;
- Lee, Yeong-Mi ;
- Park, Yong-Seop ;
- Sin, Hyeon-Jun ;
- Gwon, Deok-Hwang ;
- Kim, Mi-Yeong ;
- Go, Chang-Hun ;
- Han, Mun-Seop
- 정민철 (울산대학교 물리학과) ;
- 이영미 (경희대학교 물리학과) ;
- 박용섭 (경희대학교 물리학과) ;
- 신현준 (포항가속기연구소 빔라인부) ;
- 권덕황 (서울대학교 재료공학부) ;
- 김미영 (서울대학교 재료공학부) ;
- 고창훈 (서울시립대학교 물리학과) ;
- 한문섭 (서울시립대학교 물리학과)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords