Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Plasma simulation using Particle-in-Cell Method: from mTorr to atmospheric pressure range

  • 이해준 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 송인철 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 심승보 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 임왕선 (부산대학교 전자전기공학과) ;
  • 황석원 (부산대학교 전자전기공학과)
  • Published : 2009.02.11
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Abstract

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