Platinum silicided p-type Schottky barrier metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (SB-MOSFETs) using silicidation through oxide technique

• Choe, Cheol-Jong ;
• Mun, Ran-Ju ;
• Jeong, Myeong-Il ;
• Gil, Yeon-Ho ;
• O, Mi-Yeong ;
• Sin, Mi-Im ;
• Sim, Gyu-Hwan ;
• Jang, Mun-Gyu ;
• Jang, Seong-Yong

• 최철종 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
• 문란주 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
• 정명일 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
• 길연호 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
• 오미영 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
• 신미임 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
• 심규환 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
• 장문규 (한국전자통신연구원) ;
• 장성용 (한국전력연구원)

• Published : 2009.02.11

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