Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.75.2-75.2
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- 2009
Platinum silicided p-type Schottky barrier metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (SB-MOSFETs) using silicidation through oxide technique
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Choe, Cheol-Jong
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- Mun, Ran-Ju ;
- Jeong, Myeong-Il ;
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Gil, Yeon-Ho
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- O, Mi-Yeong ;
- Sin, Mi-Im ;
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Sim, Gyu-Hwan
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Jang, Mun-Gyu
;
- Jang, Seong-Yong
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최철종
(전북대학교 반도체과학기술학과) ;
- 문란주 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
- 정명일 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
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길연호
(전북대학교 반도체과학기술학과) ;
- 오미영 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
- 신미임 (전북대학교 반도체과학기술학과) ;
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심규환
(전북대학교 반도체과학기술학과) ;
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장문규
(한국전자통신연구원) ;
- 장성용 (한국전력연구원)
- Published : 2009.02.11
Abstract
Keywords