듀얼 마그네트론 스퍼터링 공정을 고품위 투명전도성 박막 형성 및 특성 평가

• 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
• 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
• 김동성 (이엔테크놀로지(주)) ;
• 한희민 (이엔테크놀로지(주))

• Kim, Do-Geun ;
• Kim, Jong-Guk ;
• Kim, Dong-Seong ;
• Han, Hui-Min

• 발행 : 2009.08.19

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