한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

마그네트론 스퍼터링 타겟 표면의 온도 변화에 대한 수치 모델과 측정 비교 연구

  • 홍광기 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC)) ;
  • 양원균 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC)) ;
  • 최지성 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC)) ;
  • 도우리 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC)) ;
  • 주정훈 (군산대학교 신소재공학과, 플라즈마 소재응용센터(PMRC))
  • 발행 : 2009.08.19
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