한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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- Pages.405-405
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- 2009
Electron Temperature and Ion Density measurements of an ECR Plasma with Magnetron Magnetic Field Configuration
- 발행 : 2009.08.19