환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발

• Kim, Yong-Hyeon ;
• Kim, Yeong-U ;
• Kim, Dae-Cheol ;
• Kim, Jong-Sik ;
• Yu, Seok-Jae ;
• Lee, Bong-Ju ;
• Yun, Jeong-Sik

• 김용현 (국가핵융합연구소) ;
• 김영우 (국가핵융합연구소) ;
• 김대철 (국가핵융합연구소) ;
• 김종식 (국가핵융합연구소) ;
• 유석재 (국가핵융합연구소) ;
• 이봉주 (국가핵융합연구소) ;
• 윤정식 (국가핵융합연구소)

• Published : 2009.08.19

• PDF