Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.376-376
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- 2009
플라즈마 방식으로 증착 된 산화 막의 굴절률 계수와 후속 식각공정의 연관성에 관한 연구
- Seo, Mun-Hui ;
- Kim, Dong-Hwan ;
- Heo, Mun ;
- Na, Won-Pil ;
- Choe, Jeong-Hui ;
- Choe, Cheol-Hwan ;
- Hwang, Seong-Jun ;
- Lee, Ju-Beom
- 서문희 (삼성전자공과대학교 반도체학과) ;
- 김동환 (삼성전자공과대학교 반도체학과) ;
- 허문 (삼성전자(주)) ;
- 나원필 (삼성전자(주)) ;
- 최정희 (삼성전자(주)) ;
- 최철환 (삼성전자(주)) ;
- 황성준 (삼성전자(주)) ;
- 이주범 (삼성전자(주))
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords