강자성체 코어를 갖는 변압기형 유도결합 수소 플라즈마원의 인가 전력에 따른 전기적 특성 변화

  • 이석환 (서울대학교 에너지시스템공학부) ;
  • 전상진 (삼성전자 생산기술연구소) ;
  • 김곤호 (서울대학교 에너지시스템공학부)
  • 발행 : 2009.08.19