Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

산소이온빔에 의한 Si/Ge 다층박막의 SIMS 깊이분포도 분석에서 계면에서의 비정상적 신호 변화에 대한 연구

  • 장종식 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 이은경 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 김경중 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 강희재 (충북대학교 물리학과)
  • Published : 2009.08.19
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords