Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

2009.08a
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Pages.313-313
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2009

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

첨단공정용 드라이펌프 측정 throughput limit 향상기술 개발

신진현 (한국표준과학연구원) ;
강상백 (한국표준과학연구원) ;
임종연 (한국표준과학연구원) ;
정완섭 (한국표준과학연구원) ;
윤주영 (한국표준과학연구원) ;
강상우 (한국표준과학연구원)

Published : 2009.08.19

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Abstract

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