Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석

  • 유병윤 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 박재환 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 빈석민 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 김창수 (한국표준과학연구원 나노소재측정센터) ;
  • 오병성 (충남대학교 물리학과) ;
  • 최용대 (목원대학교 기술마케팅학과)
  • 발행 : 2009.08.19