Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

나노트라이볼로지을 이용한 Poly-silicone 패턴 구조물의 붕괴력 특성 연구

  • 김수인 (국민대학교 나노전자물리학과) ;
  • 권홍석 (부경대학교 이미지시스템공학과) ;
  • 임권택 (부경대학교 이미지시스템공학과) ;
  • 이창우 (국민대학교 나노전자물리학과)
  • Published : 2009.08.19
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