Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.229-229
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- 2009
전자빔 처리를 통한 저온공정으로 제작된 Ultra Thin $SiO_2$ 유전박막의 특성향상에 관한 연구
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords