Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.218-218
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- 2009
반도체 공정 장비 응용을 위한 다양한 분위기에서 증착된 CVD SiC의 열전특성 비교
- Kim, Jun-Gyu ;
- Choe, Yu-Yeol ;
- Choe, Du-Jin ;
- Kim, Jeong-Il (R&D Center, Tokai Carbon Korea Ltd.)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords