Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Thickness dependence of electrical properties in charge trap flash (CTF) memory with $HfO_2$ trap and $Al_2O_3$ blacking layer

  • 오세만 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 유희욱 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 조원주 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 2009.08.19
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Abstract

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