Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.203-203
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- 2009
$SiO_2/SiN_x$ 터널 절연막의 적층에 따른 비휘발성 메로리 소자 응용
- Kim, Eun-Gyeom ;
- An, Seung-Man ;
- Im, Tae-Gyeong ;
- Won, Seong-Hwan ;
- Hong, Wan-Sik ;
- Seok, Jung-Hyeon ;
- Jo, Won-Ju ;
- Park, Gyeong-Wan
- 김은겸 (서울시립대학교 나노공학과) ;
- 안승만 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 임태경 (서울시립대학교 나노과학기술학과) ;
- 원성환 (서울시립대학교 나노공학과) ;
- 홍완식 (서울시립대학교 나노공학과) ;
- 석중현 (서울시립대학교 나노공학과) ;
- 조원주 (광운대학교 전자재료공학과) ;
- 박경완 (서울시립대학교 나노공학과)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords