저온공정을 위해 금속 게이트와 Pt-silicide를 이용한 쇼트키 장벽 MOSFET의 전기적 특성과 공정기술

• 오준석 (광운대학교 전자재료공학과) ;
• 나동근 (광운대학교 전자재료공학과) ;
• 정승민 (광운대학교 전자재료공학과) ;
• 김재관 (광운대학교 전자재료공학과) ;
• 한정택 (광운대학교 전자재료공학과) ;
• 조원주 (광운대학교 전자재료공학과)

• O, Jun-Seok ;
• Na, Dong-Geun ;
• Jeong, Seung-Min ;
• Kim, Jae-Gwan ;
• Han, Jeong-Taek ;
• Jo, Won-Ju

• 발행 : 2009.08.19

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