Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.152-152
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- 2009
화학증착공정용 전구체의 분해도 평가 및 진단 연구
- Seo, Gyeong-Cheon ;
- Gang, Sang-U ;
- No, Seung-Wan ;
- Jeon, Gi-Mun ;
- Sin, Jae-Su ;
- Lee, Chang-Hui ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Yun, Ju-Yeong
- 서경천 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 노승완 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 전기문 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 신재수 (대전대학교 신소재공학과) ;
- 이창희 (혜전대학) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords