Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구

• Na, Jeong-Gil ;
• Kim, Tae-Seong ;
• Choe, Jae-Bung ;
• Kim, Yeong-Jin ;
• Yun, Ju-Yeong ;
• Sin, Yong-Hyeon ;
• Gang, Sang-U

• 나정길 (성균관대학교 기계공학부) ;
• 김태성 (성균관대학교 기계공학부) ;
• 최재붕 (성균관대학교 기계공학부) ;
• 김영진 (성균관대학교 기계공학부) ;
• 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
• 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
• 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터)

• Published : 2009.08.19

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