Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.150-150
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- 2009
Polysilicon 박막 증착을 위한 화학증착공정 중 공정변수에 따른 오염입자발생특성 연구
- Na, Jeong-Gil ;
- Kim, Tae-Seong ;
- Choe, Jae-Bung ;
- Kim, Yeong-Jin ;
- Yun, Ju-Yeong ;
- Sin, Yong-Hyeon ;
- Gang, Sang-U
- 나정길 (성균관대학교 기계공학부) ;
- 김태성 (성균관대학교 기계공학부) ;
- 최재붕 (성균관대학교 기계공학부) ;
- 김영진 (성균관대학교 기계공학부) ;
- 윤주영 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 신용현 (한국표준과학연구원 진공센터) ;
- 강상우 (한국표준과학연구원 진공센터)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords