대면적 수직형 LED의 N-face n-GaN에서의 $O_2$ plasma 표면처리를 통한 Ti/Al 오믹전극 및 저저항 구현

• 남태양 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
• 조영창 (전자부품연구원 메디컬IT연구센터) ;
• 김동호 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
• 김수진 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
• 이완호 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
• 이병규 (고려대학교 전기전자전파공학부) ;
• 김태근 (고려대학교 전기전자전파공학부)

• Nam, Tae-Yang ;
• Jo, Yeong-Chang ;
• Kim, Dong-Ho ;
• Kim, Su-Jin ;
• Lee, Wan-Ho ;
• Lee, Byeong-Gyu ;
• Kim, Tae-Geun

• 발행 : 2009.08.19

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