한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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- Pages.135-135
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- 2009
Structural and chemical separation of TaSiN thin film for using the electrode of PRAM device
- 정민철 (울산대학교 물리학과) ;
- 정민상 (한양대학교 신소재공학과) ;
- 최덕균 (한양대학교 신소재공학과) ;
- 이영미 (경희대학교 물리학과) ;
- 박용섭 (경희대학교 물리학과) ;
- 황한나 (포항가속기연구소 빔라인부) ;
- 지해근 (포항가속기연구소 빔라인부) ;
- 황찬국 (포항가속기연구소 빔라인부) ;
- 장승훈 (서울시립대학교 물리학과) ;
- 한문섭 (서울시립대학교 물리학과)
- Jeong, Min-Cheol ;
- Jeong, Min-Sang ;
- Choe, Deok-Gyun ;
- Lee, Yeong-Mi ;
- Park, Yong-Seop ;
- Hwang, Han-Na ;
- Ji, Hae-Geun ;
- Hwang, Chan-Guk ;
- Jang, Seung-Hun ;
- Han, Mun-Seop
- 발행 : 2009.08.19