Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.133-133
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- 2009
Top-gate 실리콘 나노선 트랜지스터의 제작 및 특성평가
- Heo, Jeong-Hun ;
- Park, Gyeong-Su ;
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Kim, Dae-Hyeon
;
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Kim, Gyu-Tae
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- Choe, Gyeong-Jin ;
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Park, Jae-Gwan
- 허정훈 (한국과학기술연구원 나노재료연구센터) ;
- 박경수 (한국과학기술연구원 나노재료연구센터) ;
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김대현
(한국과학기술연구원 나노재료연구센터) ;
-
김규태
(고려대학교 전자공학과) ;
- 최경진 (한국과학기술연구원 나노재료연구센터) ;
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박재관
(한국과학기술연구원 나노재료연구센터)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords