Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.133-133
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- 2009
Top-gate 실리콘 나노선 트랜지스터의 제작 및 특성평가
- Heo, Jeong-Hun ;
- Park, Gyeong-Su ;
- Kim, Dae-Hyeon ;
- Kim, Gyu-Tae ;
- Choe, Gyeong-Jin ;
- Park, Jae-Gwan
- 허정훈 (한국과학기술연구원 나노재료연구센터) ;
- 박경수 (한국과학기술연구원 나노재료연구센터) ;
- 김대현 (한국과학기술연구원 나노재료연구센터) ;
- 김규태 (고려대학교 전자공학과) ;
- 최경진 (한국과학기술연구원 나노재료연구센터) ;
- 박재관 (한국과학기술연구원 나노재료연구센터)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords