Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A study on hydrophobicity of polymer micro-nano patterns generated by reactive ion etching(RIE) with nanoparticle mask

  • 이초연 (한국표준과학연구원 나노양자표준연구단) ;
  • 박형주 (한국표준과학연구원 나노양자표준연구단) ;
  • 정용호 (한국표준과학연구원 나노양자표준연구단) ;
  • 우병칠 (한국표준과학연구원 나노양자표준연구단) ;
  • 장건익 (충북대학교 재료공학과) ;
  • 윤완수 (한국표준과학연구원 나노양자표준연구단)
  • Published : 2009.08.19
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Abstract

Keywords