Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2009.08a
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- Pages.63-63
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- 2009
고진공펌프 종합특성평가시스템 설계, 진단기술 개발 개요
- Im, Jong-Yeon ;
- Jeong, Wan-Seop ;
- Hong, Seung-Su ;
- Gang, Sang-Baek ;
- Sin, Jin-Hyeon ;
- In, Sang-Yeol ;
- Heo, Jung-Sik ;
- Go, Deuk-Yong
- 임종연 (한국표준과학연구원) ;
- 정완섭 (한국표준과학연구원) ;
- 홍승수 (한국표준과학연구원) ;
- 강상백 (군산대학교) ;
- 신진현 (건양대학교) ;
- 인상열 (한국원자력연구원) ;
- 허중식 (한국기기유화시험연구원) ;
- 고득용 (한국기계연구원)
- Published : 2009.08.19
Abstract
Keywords