한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 2009.06a
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- Pages.176-179
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- 2009
Control of surface morphologies of textured ZnO:Al films prepared by in-line RF-magnetron sputtering
인라인 스퍼터링법에 의한 ZnO:Al 박막 증착 및 습식 식각에 따른 표면 형상 제어
- Kim, Young-Jin ;
- Cho, Jun-Sik ;
- Park, Sang-Hyun ;
- Yoon, Kyung-Hoon ;
- Song, Jin-Soo ;
- Wang, Jin-Suk ;
- Lee, Jeong-Chul
- 김영진 (한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
- 조준식 (한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
- 박상현 (한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
- 윤경훈 (한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
- 송진수 (한국에너지기술연구원 태양광연구단) ;
- 왕진석 (충남대학교 전자전파정보통신 공학부) ;
- 이정철 (한국에너지기술연구원 태양광연구단)
- Published : 2009.06.25
Abstract
ZnO:Al 투명전도막을 유리기판위에 in-line RF-magnetron sputtering법으로 증착온도 및 증착압력에 따라 제조하고, 습식식각에 따른 박막의 표면형상 및 광학적 특성변화를 조사하였다. 초기박막은 육방정계(Hexanonal wurtzite)의 결정 구조와 (002)면의 c-축 우선배향성을 갖으며 가시광 영역에서 높은 광 투과도(T
Keywords