한국신재생에너지학회:학술대회논문집
- 2009.11a
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- Pages.390-390
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- 2009
Effect of deposition parameters on material properties of sputtered ZnO/Ag backreflectors for n-i-p silicon thin film solar cells
스퍼터링 증착변수에 따른 n-i-p 플렉서블 실리콘 박막 태양전지용 ZnO/Ag 후면전극의 물성 변화
- Baek, Sang-Hun ;
- Kim, Kyung-Min ;
- Lee, Jeong-Chul ;
- Park, Sang-Hyun ;
- Song, Jin-Soo ;
- Yoon, Kyung-Hoon ;
- Wang, Jin-Suk ;
- Cho, Jun-Sik
- 백상훈 (한국에너지기술연구원) ;
- 김경민 (한국에너지기술연구원) ;
- 이정철 (한국에너지기술연구원) ;
- 박상현 (한국에너지기술연구원) ;
- 송진수 (한국에너지기술연구원) ;
- 윤경훈 (한국에너지기술연구원) ;
- 왕진석 (한국에너지기술연구원) ;
- 조준식 (한국에너지기술연구원)
- Published : 2009.11.25
Abstract
마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 n-i-p 구조의 플렉서블 실리콘 박막태양전지용 ZnO/Ag 후면전극을 stainless steel 기판위에 제조하고 증착온도와 Ag 박막의 두께 변화에 따른 광학적 특성변화를 조사하였다. ZnO/Ag 구조의 후면전극은 RF와 DC 마그네트론 스퍼터링으로 Ag 금속 및 ZnO:Al(