Analysis of Local Distribution of Illuminating Angles for Designing Illuminators of Automated Optical Inspector

자동 광검사 장비용 조명광학계 설계를 위한 국부적인 조명각 분포의 분석

  • 김승용 (인하대학교 정보공학과) ;
  • 정상철 (인하대학교 정보공학과) ;
  • 김대찬 (인하대학교 정보공학과) ;
  • 주동익 (삼성전기 생산기술 연구소) ;
  • 최태일 (삼성전기 생산기술 연구소) ;
  • 이백규 (삼성전기 생산기술 연구소) ;
  • 오범환 (인하대학교 정보공학과) ;
  • 이승걸 (인하대학교 정보공학과)
  • Published : 2009.10.20

Abstract

In order to design a special illuminator required for an automated optical inspection system, distributions of illuminating angles and intensities of illuminating rays incident on a specimen surface are taken into consideration. This methodology is tried to optimize coaxial illuminating systems by using the specially-coded program.

Keywords