Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Feasibility Study for Near-Field Microscope with 1.84 NA SIL-based Near-Field Optical system

1.85 개구수의 SIL기반 근접장 광학시스템을 이용한 미세구조 패턴의 측정기술에 대한 연구

  • 문형배 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
  • 윤용중 (연세대학교 정보저장기기연구센터) ;
  • 박노철 (연세대학교 기계공학과) ;
  • 박경수 (연세대학교 기계공학과) ;
  • 박영필 (연세대학교 기계공학과)
  • Published : 2009.10.20
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Abstract

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