Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)

Optical Society of Korea (한국광학회)
권호 표지

Simulation for Various 3-Dimensional Nano / Microstructuring Fabrication in Positive Phtoresists

양성 감광제에서 여러 가지 나노 / 마이크로구조 제작을 위한 시뮬레이션

  • 김상곤 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 오혜근 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 정영대 (한양대학교 응용물리학과) ;
  • 안일신 (한양대학교 응용물리학과)
  • Published : 2009.10.20
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Abstract

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