Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2009.11a
- /
- Pages.49.2-49.2
- /
- 2009
Characteristics of ZnO:Al thin films deposited with differentworking pressures
증착 압력에 따른 ZnO:Al 박막의 특성
- Kim, Seong-Yeon ;
- Sin, Beom-Gi ;
- Kim, Du-Su ;
- Choe, Yun-Seong ;
- Park, Gang-Il ;
- An, Gyeong-Jun ;
- Myeong, Jae-Min
- 김성연 (연세대학교 신소재공학부) ;
- 신범기 (연세대학교 신소재공학부) ;
- 김두수 (연세대학교 신소재공학부/한국전력연구원(KEPRI)) ;
- 최윤성 ((주)에스엔텍) ;
- 박강일 ((주)에스엔텍) ;
- 안경준 ((주)에스엔텍) ;
- 명재민 (연세대학교 신소재공학부)
- Published : 2009.11.05
Abstract
투명전극은 디스플레이, 태양전지와 같은 광전자 소자에 필수적이며, 지금까지 개발된 재료 중에는 ITO가 가장 투명하면서 전기전도도가 높고 생산성도 좋기 때문에 투명전극의 재료로 사용하고 있다. ITO는 낮은 비저항(
Keywords
- ZnO:Al;
- cylindrical typesource;
- DC sputtering;
- working pressure;
- transparent conductive oxides (TCO)