Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)
- 2009.05a
- /
- Pages.189-189
- /
- 2009
Characteristics of Amorphous ITO:Yb Films Deposited by Magnetron Co-Sputtering
마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 증착한 비정질 Yb-doped ITO 박막의 특성
- Published : 2009.05.27
Abstract
다양한 증착 조건에서 마그네트론 2원 동시 방전법을 이용하여 유리기판위에 ITO (10wt%
Keywords