한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.133-133
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- 2009
폴리이미드 기판위에 증착한 고온내구성 비정질 ITO:Ce 박막의 특성
High Temperature Durability Amorphous ITO:Ce Films Deposited on Polyimide Substrate
- 발행 : 2009.05.27
초록
DC 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 투명 폴리이미드 기판위에
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