Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

A Study on Extraction Properties of Ion Beam of Double Bending Filtered Vacuum Arc Source

이중 굽힘 자장 여과 아크 소스의 이온빔 인출 특성 평가 연구

  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소 하이브리드코팅연구그룹) ;
  • ;
  • 이승훈 (한국기계연구원 부설 재료연구소 하이브리드코팅연구그룹) ;
  • 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소 하이브리드코팅연구그룹)
  • Published : 2009.05.27
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Abstract

진공아크소스의 거대입자 제거를 위하여 이중 굽힘형 자장여과 아크 소스를 제작하였다. 소스의 각 전자석의 역할을 조사하고, 발전 안정화 영역에 대한 연구를 수행하였다. 또한 이중 굽힘 자장여과아크소스의 아크방전전압, 주입가스의 위치, 유량 및 플라즈마 덕트의 전압에 따른 인출 이온빔의 공간적 분포 및와 에너지 분포에 대한 연구를 진행하였다. 압력 0.1 mtorr에서 인출 이온빔의 평균에너지는 45$\sim$50 eV를 나타내었으며, 압력이 증가함에 따라 감소하는 경향을 보였다.

Keywords