한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)
- 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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- Pages.98-98
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- 2009
RF 바이어스가 수소화된 나노결정실리콘 박막에 미치는 영향
Influence of radio frequency bias on hydrogenated nanocrystalline silicon thin film
- 발행 : 2009.05.27
초록
Hydrogenated nano-, microcrystalline silicon 박막(nc-,
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