Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 2009.04a
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  • Pages.608-609
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  • 2009
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  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

Development of Fault Diagnosis System for Spin Coaters using Vibration Assessment

스핀코터의 진동 분석을 통한 이상 진단 시스템 개발

  • 문준희 (서울대학교 마이크로열시스템 연구센터) ;
  • 박희재 (서울대학교 기계항공공학부)
  • Published : 2009.04.23
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Abstract

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